螺杆式真空泵主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子，通过高精度的同步齿轮带动从动转子旋转。同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。一对旋向相反.由泵的两端盖的轴承支撑旋转的螺杆，将被抽气体吸入，通过气体吸入.压缩.排气三个过程，达到抽气的目的。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的替代产品。
螺杆式真空泵分为等螺距和变螺距干式罗杆真空泵，螺杆式真空泵设计紧凑，运行高效，螺杆与轴一体加工。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，该系列泵可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。
干式螺杆真空泵的典型应用：
• 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺
• 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等
• 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染
• 化学和医药流程
• 溶剂回收
• 成型、结晶、干刻、溅镀、蒸气回收、空中模拟
干式螺杆真空泵的特点、优点
干式螺杆真空泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为1Torr（1.3mbara），极限真空可达0.01Torr（0.013mbara）在运转过程中没有油或水，泵腔无部分接触，短气通道可以使泵迅速排放，直接驱动或V皮带有加长的转子，操作安静----低于85分贝。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，该系列泵都可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。主要特点：
没有油或水和过程气体接触
运行部件之间无金属相互接触
简单紧固的设计可以处理工作时产生的副产品——液体，冷凝物甚至微小颗粒
节省空间的设计除去了防护装置的需要
泵内气通道较短，气体排放更迅速
即使不使用消音装置，噪音也低于90dB(A)
ZT-LG3主要性能参数
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型号
|
ZT-40LG3
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ZT-80LG3
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ZT-120LG3
|
ZT-180LG3
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ZT-300LG3
|
ZT-360LG3
|
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|
最大抽气速率（L/s）
|
40
|
80
|
120
|
180
|
300
|
360
|
|||||
|
极限压力（mbar）
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
|||||
|
最高排气压力（bar）
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
|||||
|
电机功率（kW）
|
4
|
7.5
|
11
|
18.5
|
30
|
37
|
|||||
|
转速（r/min）
|
2890
|
2900
|
2900
|
2930
|
2900
|
2900
|
|||||
|
吸气口直径（mm）
|
DN40
|
DN50
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
DN150
|
|||||
|
排气口直径（mm）
|
DN30
|
DN40
|
DN65
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
|||||
|
齿轮腔用油量（L）
|
1.3
|
1.6
|
2.2
|
4
|
10
|
12
|
|||||
|
冷却水用量（L/h）
|
120
|
210
|
380
|
600
|
820
|
1000
|
|||||
|
冷却水允许最高压力（MPa）
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
|||||
|
冷却气体量（m3/h）
|
18
|
25
|
28
|
30
|
36
|
40
|
|||||
|
吸气端密封类型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
排气端密封类型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
轴伸处密封类型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
噪声（dB）
|
82
|
85
|
85
|
85
|
85
|
85
|
|||||
|
重量（kg）
|
230
|
322
|
395
|
550
|
860
|
1080
|
|||||
|
型号
|
ZT-40LG4
|
ZT-80LG4
|
ZT-120LG4
|
ZT-180LG4
|
ZT-300LG4
|
ZT-360LG4
|
|||||
|
最大抽气速率（L/s）
|
40
|
80
|
120
|
180
|
300
|
360
|
|||||
|
极限压力（mbar）
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
0.1
|
|||||
|
最高排气压力（bar）
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
1.3
|
|||||
|
电机功率（kW）
|
4
|
7.5
|
11
|
18.5
|
30
|
37
|
|||||
|
转速（r/min）
|
2890
|
2900
|
2900
|
2930
|
2900
|
2900
|
|||||
|
吸气口直径（mm）
|
DN40
|
DN50
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
DN150
|
|||||
|
排气口直径（mm）
|
DN30
|
DN40
|
DN65
|
DN80
|
DN100
|
DN125
|
|||||
|
齿轮腔用油量（L）
|
1.3
|
1.6
|
2.2
|
4
|
10
|
12
|
|||||
|
冷却水用量（L/h）
|
120
|
210
|
380
|
600
|
820
|
1000
|
|||||
|
冷却水允许最高压力（MPa）
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
|||||
|
冷却气体量（m3/h）
|
18
|
25
|
28
|
30
|
36
|
40
|
|||||
|
吸气端密封类型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
排气端密封类型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
轴伸处密封类型
|
骨架油封
|
||||||||||
|
噪声（dB）
|
82
|
85
|
85
|
85
|
85
|
85
|
|||||
|
重量（kg）
|
230
|
322
|
395
|
550
|
860
|
1080
|
|||||
